电容式传感器的测量电路

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1、调频电路当被测信号不为0时，ΔC≠0，振荡器频率有相应变化特点：0．01μm级位移变化量。信号的输出频率易于用数字仪器测量，并与计算机通讯。 2、运算放大器式电路如果传感器是一只平板电容，则Cx=εS/d 结论：Uo的相位与输入反相,大小和位移呈...