超精密加工技术

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一、概述精密加工是指加工零件的尺寸尺寸精度在0.1-1μm，加工表面粗糙度为Ra 0.02～0.1μm之间的加工方法。超精密加工是指被加工零件的尺寸精度高于0.1μm，表面粗糙度小于Ra＜0.025μm，以及所用机床定位精度的分辨率和重复性高于0.01μm的加工技术，也称之为亚微米级加...

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