离子束加工原理 离子束加工原理与电子束加工类似,也是在真空条件下,将Ar、Kr、Xe等情性气体通过离子源电离产生离子束,并经过加速、集束、聚焦后,投射到工件表面的加工部位,以实现去除加工。所不同的是离子的质量比电子的质量大成千上万倍,例如最小的氢离子,其质量是电子质量的1840倍,氖离子的质... 2014-11-26 离子束加工原理
离子束加工原理 离子束加工原理与电子束加工类似,也是在真空条件下,将Ar、Kr、Xe等情性气体通过离子源电离产生离子束,并经过加速、集束、聚焦后,投射到工件表面的加工部位,以实现去除加工。所不同的是离子的质量比电子的质量大成千上万倍,例如最小的氢离子,其质量是电子质量的1840倍,氖离子的质... 2014-11-26 离子束加工原理