谐振式传感器的类型及优缺点

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谐振式传感器的种类很多，大体分为两类：一类是基于机械谐振结构谐振式传感器；另一类是MOS环振式谐振传感器。其中机械式谐振式传感器应用最广。机械式谐振传感器的振子可以有不同的结构形式，图所示为常见的a 张丝状、b 膜片状、c 筒状、d 梁状等，相应的有振动弦式、振动膜式、...